|
Вычислительные методы и программирование, 2018, том 19, выпуск 4, страницы 439–448
(Mi vmp932)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем
А. В. Тихонравовa, И. В. Кочиковa, И. А. Матвиенкоb, Т. Ф. Исаевb, Д. В. Лукьяненкоb, С. А. Шараповаa, А. Г. Яголаb a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова
b Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
Аннотация:
Предложены оценки, которые могут использоваться для предсказания степени ожидаемого эффекта корреляции ошибок в определении толщин слоев при изготовлении оптических покрытий с использованием широкополосного оптического контроля процесса напыления. Численное определение этих оценок требует проведения статистического анализа, для чего реализован эффективный вычислительный алгоритм моделирования ошибок толщин слоев, который обеспечивает, с одной стороны, случайный характер ошибок, но в то же время адекватно отражает корреляцию ошибок восстановления толщин, вносимую применяемым способом контроля напыления слоев. Показано, что ожидаемая степень проявления корреляции ошибок оценивается случайной величиной, распределение которой близко к логнормальному распределению, а в качестве параметров, характеризующих исследуемый эффект, могут быть взяты два основных параметра этого распределения.
Ключевые слова:
обратные задачи, производство оптических покрытий, оптический контроль, компьютерное моделирование.
Поступила в редакцию: 04.10.2018
Образец цитирования:
А. В. Тихонравов, И. В. Кочиков, И. А. Матвиенко, Т. Ф. Исаев, Д. В. Лукьяненко, С. А. Шарапова, А. Г. Ягола, “Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем”, Выч. мет. программирование, 19:4 (2018), 439–448
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/vmp932 https://www.mathnet.ru/rus/vmp/v19/i4/p439
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 178 | PDF полного текста: | 50 |
|