Вычислительные методы и программирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Выч. мет. программирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Вычислительные методы и программирование, 2009, том 10, выпуск 3, страницы 363–370 (Mi vmp388)  
Вычислительные методы и приложения

Математическое моделирование процессов имплантации в кремний легирующих донорных и акцепторных примесей

Г. А. Тарнавский

Институт вычислительной математики и математической геофизики Сибирского отделения Российской академии наук, г. Новосибирск
PDF полного текста (695 kB)
Аннотация: Проводится краткое описание вычислительного метода математического моделирования одного из основных технологических процессов производства наноструктурированных полупроводниковых материалов. Приводятся результаты расчетов при вариации определяющих параметров. Обсуждаются некоторые проблемы математического моделирования при уменьшении размеров наноэлектромеханических систем. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (код проекта 08-07-12001-офи).
Ключевые слова: математическое моделирование; легирование кремния; имплантация; донорные и акцепторные примеси.
Тип публикации: Статья
УДК: 519.2:541.1
Образец цитирования: Г. А. Тарнавский, “Математическое моделирование процессов имплантации в кремний легирующих донорных и акцепторных примесей”, Выч. мет. программирование, 10:3 (2009), 363–370
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Tar09}
\by Г.~А.~Тарнавский
\paper Математическое моделирование процессов имплантации в кремний легирующих донорных и акцепторных примесей
\jour Выч. мет. программирование
\yr 2009
\vol 10
\issue 3
\pages 363--370
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vmp388}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/vmp388
  • https://www.mathnet.ru/rus/vmp/v10/i3/p363
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Вычислительные методы и программирование
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024