Ученые записки Казанского университета. Серия Физико-математические науки
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Ученые записки Казанского университета. Серия Физико-математические науки, 2010, том 152, книга 3, страницы 164–170 (Mi uzku874)  
Тринадцатая международная молодежная научная школа "Когерентная оптика и оптическая спектроскопия"

Исследование нагрева и рекристаллизации в имплантированном кремнии при импульсном световом облучении

Б. Ф. Фаррахов, М. Ф. Галяутдинов, Я. В. Фаттахов, М. В. Захаров

Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского КазНЦ РАН
PDF полного текста (762 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: В работе предложен и реализован бесконтактный метод исследования динамики нагрева и твердофазной рекристаллизации имплантированных полупроводников непосредственно во время проведения импульсного светового отжига. Данная методика, основанная на регистрации оптических дифракционных сигналов от специальных периодических структур, позволяет с высоким временным разрешением определять такие характеристики, как температура и длительность процесса твердофазной рекристаллизации, время начала плавления ионно-легированного слоя полупроводника.
Ключевые слова: кремний, ионная имплантация, импульсный световой отжиг, рекристаллизация, дифракция Фраунгофера, тепловое расширение твердых тел.
Поступила в редакцию: 11.12.2009
Тип публикации: Статья
УДК: 535.421+536.582.6+536.516.1+536.331
Образец цитирования: Б. Ф. Фаррахов, М. Ф. Галяутдинов, Я. В. Фаттахов, М. В. Захаров, “Исследование нагрева и рекристаллизации в имплантированном кремнии при импульсном световом облучении”, Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки, 152, № 3, Изд-во Казанского ун-та, Казань, 2010, 164–170
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FarGalFat10}
\by Б.~Ф.~Фаррахов, М.~Ф.~Галяутдинов, Я.~В.~Фаттахов, М.~В.~Захаров
\paper Исследование нагрева и рекристаллизации в~имплантированном кремнии при импульсном световом облучении
\serial Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки
\yr 2010
\vol 152
\issue 3
\pages 164--170
\publ Изд-во Казанского ун-та
\publaddr Казань
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/uzku874}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/uzku874
  • https://www.mathnet.ru/rus/uzku/v152/i3/p164
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Ученые записки Казанского университета. Серия Физико-математические науки
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025