Моделирование механизма объемной обработки капиллярно-пористых материалов в высокочастотной плазме пониженного давления

В работе моделируется физический механизм объемной модификации капиллярно-пористых материалов в высокочастотной плазме пониженного давления. Результаты численных расчетов показали, что причиной объемной модификации может быть несамостоятельный разряд в пористом объеме, который возникает в результате каскада процессов эмиссии заряженных частиц с внутренней поверхности нанопор. Последующие передача кинетической энергии и рекомбинация заряженных частиц на поверхности нанопор приводят к изменению ее свойств, что интерпретируется как объемная модификация материала.