|
Ученые записки Казанского университета. Серия Физико-математические науки, 2015, том 157, книга 2, страницы 126–140
(Mi uzku1312)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Численное моделирование высокочастотного емкостного разряда
В. Ю. Чебакова Кафедра математической статистики, Казанский
(Приволжский) федеральный университет, г. Казань, Россия
Аннотация:
В работе рассмотрена нелинейная задача о нахождении параметров процесса взаимодействия высокочастотного емкостного разряда с образцом, находящимся на подложке, в локальном приближении. Задача описана системой нелинейных начально-краевых задач. Предложен численный метод решения данной задачи. Приведены результаты расчетов для модельной задачи и проведен их сравнительный анализ с характеристиками высокочастотного емкостного разряда без образца.
Ключевые слова:
математическое моделирование, высокочастотный емкостный разряд, напряженность электрического поля, электронная и газовая температура, концентрация электронов, концентрация ионов, численные эксперименты.
Поступила в редакцию: 26.02.2015
Образец цитирования:
В. Ю. Чебакова, “Численное моделирование высокочастотного емкостного разряда”, Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки, 157, № 2, Изд-во Казанского ун-та, Казань, 2015, 126–140
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/uzku1312 https://www.mathnet.ru/rus/uzku/v157/i2/p126
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 360 | PDF полного текста: | 115 | Список литературы: | 41 |
|