Ученые записки Казанского университета. Серия Физико-математические науки
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Ученые записки Казанского университета. Серия Физико-математические науки, 2015, том 157, книга 2, страницы 126–140 (Mi uzku1312)  
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Численное моделирование высокочастотного емкостного разряда

В. Ю. Чебакова

Кафедра математической статистики, Казанский (Приволжский) федеральный университет, г. Казань, Россия
PDF полного текста (625 kB) Список цитирования (3)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: В работе рассмотрена нелинейная задача о нахождении параметров процесса взаимодействия высокочастотного емкостного разряда с образцом, находящимся на подложке, в локальном приближении. Задача описана системой нелинейных начально-краевых задач. Предложен численный метод решения данной задачи. Приведены результаты расчетов для модельной задачи и проведен их сравнительный анализ с характеристиками высокочастотного емкостного разряда без образца.
Ключевые слова: математическое моделирование, высокочастотный емкостный разряд, напряженность электрического поля, электронная и газовая температура, концентрация электронов, концентрация ионов, численные эксперименты.
Поступила в редакцию: 26.02.2015
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 517.958+533.9
Образец цитирования: В. Ю. Чебакова, “Численное моделирование высокочастотного емкостного разряда”, Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки, 157, № 2, Изд-во Казанского ун-та, Казань, 2015, 126–140
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Che15}
\by В.~Ю.~Чебакова
\paper Численное моделирование высокочастотного емкостного разряда
\serial Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки
\yr 2015
\vol 157
\issue 2
\pages 126--140
\publ Изд-во Казанского ун-та
\publaddr Казань
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/uzku1312}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=23819783}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/uzku1312
  • https://www.mathnet.ru/rus/uzku/v157/i2/p126
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Ученые записки Казанского университета. Серия Физико-математические науки
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:368
    PDF полного текста:120
    Список литературы:51
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024