|
Ученые записки Казанского университета. Серия Физико-математические науки, 2013, том 155, книга 2, страницы 123–130
(Mi uzku1202)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Моделирование высокочастотного емкостного разряда при больших межэлектродных расстояниях. I. Постановка задачи
И. Ш. Абдуллинa, В. С. Желтухинb, В. Ю. Чебаковаb, М. Н. Шнейдерc a Казанский национальный исследовательский технологический университет, г. Казань, Россия
b Казанский (Приволжский) федеральный университет, г. Казань, Россия
c Принстонский университет, г. Принстон, США
Аннотация:
В работе построена одномерная математическая модель нестационарной высокочастотной плазмы пониженного давления, позволяющая рассчитать основные характеристики плазмы в высокочастотном емкостном разряде с большим межэлектродном расстоянием и описать поведение плазмы в приэлектродных областях с учетом нагрева газа.
Ключевые слова:
математическое моделирование, высокочастотный емкостный разряд пониженного давления, напряженность электрического поля, электронная и газовая температура, концентрация электронов, ионов.
Поступила в редакцию: 03.04.2013
Образец цитирования:
И. Ш. Абдуллин, В. С. Желтухин, В. Ю. Чебакова, М. Н. Шнейдер, “Моделирование высокочастотного емкостного разряда при больших межэлектродных расстояниях. I. Постановка задачи”, Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки, 155, № 2, Изд-во Казанского ун-та, Казань, 2013, 123–130
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/uzku1202 https://www.mathnet.ru/rus/uzku/v155/i2/p123
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 490 | PDF полного текста: | 253 | Список литературы: | 136 |
|