Нейросетевая калибровка датчиков для технологий микро- и наноэлектроники

Рассматривается калибровка оптических измерительных систем определения состава веществ с использованием многослойной нейронной сети. Оптическая измерительная система основана на волоконно-оптических преобразователях, и ее измерительные характеристики могут быть немонотонны и нелинейны. Применимость предлагаемого способа калибровки продемонстрирована в рассматриваемом случае с использованием реальных данных. Нейросетевой подход позволяет получить лучшее качество калибровки, а многослойная нейронная сеть не требует данных для восстановления оптических характеристик.