|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
МЕТОДИЧЕСКИЕ ЗАМЕТКИ
Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии
Г. В. Спивак, Э. И. Рау, А. Ю. Сасов Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Аннотация:
В статье описывается система цветокодирования изображений для качественного и количественного анализа информации в растровом электронном микроскопе. В основу метода положено преобразование “интенсивность-цвет”, когда определенному параметру или свойству объекта ставится в соответствие определенный цвет. Квантование видеосигнала по цветному спектру осуществлено в режимах вторичной электронной эмиссии, отраженных электронов анализ объекта на элементный состав, потенциального контраста и наведенного тока при исследовании полупроводниковых структур. Экспериментально проиллюстрированы возможности цветокодирования видеосигнала при экспресс-анализе качества изделий микроэлектроники и при определении локального распределения химических элементов в исследуемых материалах. Илл. 8, библиогр. ссылок 11.
Образец цитирования:
Г. В. Спивак, Э. И. Рау, А. Ю. Сасов, “Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии”, УФН, 139:1 (1983), 165–168; Phys. Usp., 26:1 (1983), 84–86
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn8590 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v139/i1/p165
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 41 | PDF полного текста: | 16 |
|