Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Успехи физических наук, 1983, том 139, номер 1, страницы 165–168
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0139.198301f.0165
(Mi ufn8590)
 

Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

МЕТОДИЧЕСКИЕ ЗАМЕТКИ

Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии

Г. В. Спивак, Э. И. Рау, А. Ю. Сасов

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Аннотация: В статье описывается система цветокодирования изображений для качественного и количественного анализа информации в растровом электронном микроскопе. В основу метода положено преобразование “интенсивность-цвет”, когда определенному параметру или свойству объекта ставится в соответствие определенный цвет. Квантование видеосигнала по цветному спектру осуществлено в режимах вторичной электронной эмиссии, отраженных электронов анализ объекта на элементный состав, потенциального контраста и наведенного тока при исследовании полупроводниковых структур. Экспериментально проиллюстрированы возможности цветокодирования видеосигнала при экспресс-анализе качества изделий микроэлектроники и при определении локального распределения химических элементов в исследуемых материалах. Илл. 8, библиогр. ссылок 11.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 1983, Volume 26, Issue 1, Pages 84–86
DOI: https://doi.org/10.1070/PU1983v026n01ABEH004309
Тип публикации: Статья
УДК: 621.385.833
PACS: 07.80.+x
Образец цитирования: Г. В. Спивак, Э. И. Рау, А. Ю. Сасов, “Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии”, УФН, 139:1 (1983), 165–168; Phys. Usp., 26:1 (1983), 84–86
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SpiRauSas83}
\by Г.~В.~Спивак, Э.~И.~Рау, А.~Ю.~Сасов
\paper Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии
\jour УФН
\yr 1983
\vol 139
\issue 1
\pages 165--168
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn8590}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.0139.198301f.0165}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 1983
\vol 26
\issue 1
\pages 84--86
\crossref{https://doi.org/10.1070/PU1983v026n01ABEH004309}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn8590
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v139/i1/p165
  • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:41
    PDF полного текста:16
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024