|
БИБЛИОГРАФИЯ
Ионная имплантация: оборудование и методика
В. С. Вавилов
Образец цитирования:
В. С. Вавилов, “Ионная имплантация: оборудование и методика”, УФН, 143:2 (1984), 336–337
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn8502 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v143/i2/p336
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 35 | PDF полного текста: | 7 |
|