Некоторые физические аспекты ионной имплантации

Имплантация ионов и родственные ей процессы осаждения и распыления. – Неравновесностъ и метастабильность ионно-имплантированных структур. – Аморфные твердые тела, создаваемые имплантацией ионов, и планарные структуры, их включающие. – Рекристаллизация слоев, легированных или (и) амортизированных имплантацией ионов. – Анализ состава и свойств ионно-имплантированных планарных структур. – Метод анализа спектров фото- и катодолюминесценции ионно-имплантированных слоев. – Оптическая методика изучения приповерхностных слоев ионно-имплантированных структур. – Емкостная спектроскопия энергетических уровней. – О пределах применимости ионной имплантации как метода управления свойствами полупроводников и других твердых тел.