Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2009, том 179, номер 9, страницы 921–930
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0179.200909a.0921 (Mi ufn816) 		 
Эта публикация цитируется в 29 научных статьях (всего в 29 статьях)

ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ

Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид

В. А. Гриценко

Институт физики полупроводников СО РАН
PDF полного текста (1596 kB) Список цитирования (29)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0179.200909a.0921
Аннотация: В настоящем обзоре систематизированы и обобщены современные представления об атомном строении границ раздела кремний/диэлектрик (Si/SiO$_2$, Si/SiO$_x$N$_y$) и диэлектрик/диэлектрик (Si$_3$N$_4$/SiO$_2$) в структурах, которые являются основой кремниевых приборов.
Поступила: 21 октября 2008 г.
Доработана: 17 апреля 2009 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2009, Volume 52, Issue 9, Pages 869–877
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNe.0179.200909a.0921
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 61.43.-j, 61.66.Fn, 68.35.Dv, 71.55.Jv
Образец цитирования: В. А. Гриценко, “Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид”, УФН, 179:9 (2009), 921–930; Phys. Usp., 52:9 (2009), 869–877
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Gri09}
\by В.~А.~Гриценко
\paper Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид
\jour УФН
\yr 2009
\vol 179
\issue 9
\pages 921--930
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn816}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.0179.200909a.0921}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2009PhyU...52..869G}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2009
\vol 52
\issue 9
\pages 869--877
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.0179.200909a.0921}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000274047000001}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-76149089186}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn816
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v179/i9/p921
    • Эта публикация цитируется в следующих 29 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:441
    PDF полного текста:147
    Список литературы:48
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024