|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
ИЗ ТЕКУЩЕЙ ЛИТЕРАТУРЫ
Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления
А. И. Воробьева Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР)
Аннотация:
Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл – углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.
Поступила: 11 июля 2008 г. Доработана: 17 сентября 2008 г.
Образец цитирования:
А. И. Воробьева, “Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления”, УФН, 179:3 (2009), 243–253; Phys. Usp., 52:3 (2009), 225–234
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn733 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v179/i3/p243
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 374 | PDF полного текста: | 125 | Список литературы: | 46 | Первая страница: | 1 |
|