|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ
Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы
В. Н. Очкин Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
Аннотация:
Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии
для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности
методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов
в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических
покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.
Поступила: 4 июня 2021 г. Доработана: 22 июля 2021 г. Одобрена в печать: 23 июля 2021 г.
Образец цитирования:
В. Н. Очкин, “Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы”, УФН, 192:10 (2022), 1145–1178; Phys. Usp., 65:10 (2022), 1071–1103
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn7096 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v192/i10/p1145
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 176 | PDF полного текста: | 28 | Список литературы: | 13 | Первая страница: | 9 |
|