|
Эта публикация цитируется в 23 научных статьях (всего в 23 статьях)
ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов
Б. А. Гурович, К. Е. Приходько Российский научный центр "Курчатовский институт"
Аннотация:
Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУ А для создания наноразмерных функциональных элементов.
Поступила: 16 июля 2008 г. Доработана: 7 октября 2008 г.
Образец цитирования:
Б. А. Гурович, К. Е. Приходько, “Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов”, УФН, 179:2 (2009), 179–195; Phys. Usp., 52:2 (2009), 165–178
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn700 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v179/i2/p179
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 381 | PDF полного текста: | 118 | Список литературы: | 20 | Первая страница: | 1 |
|