Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2022, том 192, номер 7, страницы 722–753
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2021.06.038994 (Mi ufn6985) 		 
Эта публикация цитируется в 23 научных статьях (всего в 23 статьях)

ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ

Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

А. Е. Иешкинa, А. Б. Толстогузовbcd, Н. Г. Коробейщиковe, В. О. Пеленовичc, В. С. Чернышa

a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
b Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина
c Department of Physics and Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, Hubei Nuclear Solid Physics Key Laboratory and Center for Ion Beam Application, School of Physics and Technology, Wuhan University
d Centre for Physics and Technological Research (CeFITec), Dept. de Fisica da Faculdade de Ciencias e Tecnologia (FCT), Universidade Nova de Lisboa
e Новосибирский государственный университет
PDF полного текста (1790 kB) Список цитирования (23)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2021.06.038994
Аннотация: Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 20-18-50253
Работа поддержана РФФИ в рамках научного проекта No. 20-18-50253
Поступила: 23 марта 2021 г.
Доработана: 20 мая 2021 г.
Одобрена в печать: 7 июня 2021 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2022, Volume 65, Issue 7, Pages 677–705
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNe.2021.06.038994
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 29.25.Ni, 36.40.-c, 41.75.-i, 68.49.Sf
Образец цитирования: А. Е. Иешкин, А. Б. Толстогузов, Н. Г. Коробейщиков, В. О. Пеленович, В. С. Черныш, “Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач”, УФН, 192:7 (2022), 722–753; Phys. Usp., 65:7 (2022), 677–705
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{IesTolKor22}
\by А.~Е.~Иешкин, А.~Б.~Толстогузов, Н.~Г.~Коробейщиков, В.~О.~Пеленович, В.~С.~Черныш
\paper Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач
\jour УФН
\yr 2022
\vol 192
\issue 7
\pages 722--753
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn6985}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.2021.06.038994}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2022PhyU...65..677I}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2022
\vol 65
\issue 7
\pages 677--705
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.2021.06.038994}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=001100230300003}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85122825374}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn6985
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v192/i7/p722
    • Эта публикация цитируется в следующих 23 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:118
    PDF полного текста:29
    Список литературы:19
    Первая страница:3
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024