Аннотация:
Широкополосные интегрально-оптические модуляторы являются ключевыми элементами современных оптических информационных систем. Рассмотрены три основные материальные технологические платформы для их изготовления: ниобат лития, полупроводники $A_{3}B_{5}$ и кремний. Анализируется достигнутый прогресс в создании интегрально-оптических модуляторов и даётся сопоставление полученных для разных материалов основных параметров модуляторов с требованиями практических применений. Обсуждаются направления дальнейшего развития технологии рассматриваемых модуляторов применительно к новым задачам в оптических информационных системах.
Поступила:20 мая 2020 г. Доработана: 16 ноября 2020 г. Одобрена в печать: 18 ноября 2020 г.
Образец цитирования:
В. М. Петров, П. М. Агрузов, В. В. Лебедев, И. В. Ильичёв, А. В. Шамрай, “Широкополосные интегрально-оптические модуляторы: достижения и перспективы развития”, УФН, 191:7 (2021), 760–780; Phys. Usp., 64:7 (2021), 722–739