|
Эта публикация цитируется в 15 научных статьях (всего в 15 статьях)
ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
Электрогидродинамические источники ионных пучков
П. А. Мажаровa, В. Г. Дудниковbc, А. Б. Толстогузовdef a Raith GmbH, Dortmund
b Новосибирский государственный университет
c Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, г. Новосибирск
d Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина
e Department of Physics and Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, Hubei Nuclear Solid Physics Key Laboratory and Center for Ion Beam Application, School of Physics and Technology, Wuhan University
f Centre for Physics and Technological Research (CeFITec), Dept. de Fisica da Faculdade de Ciencias e Tecnologia (FCT), Universidade Nova de Lisboa
Аннотация:
Рассматриваются физические процессы, определяющие генерацию ионных пучков с высокой эмиссионной плотностью тока в электрогидродинамических (ЭГД) источниках, работающих на жидких металлах и сплавах, а также с низкотемпературными ионными жидкостями. Обсуждаются ЭГД-эффекты, оказывающие влияние на эмиссию ионов (механизмы ионообразования), и кинетика взаимодействия ионов в пучках с высокой плотностью. Анализируются факторы, определяющие размер эмиссионной зоны, устойчивость эмиссии при больших и малых токах, генерацию кластеров, увеличение энергетического разброса, уменьшение яркости и другие характеристики ионных пучков. Рассмотрены конструкционные особенности ЭГД-эмиттеров, проблемы практического обеспечения их устойчивого функционирования. Подробно представлены современные области применения источников ионов с ЭГД-эмиттерами, включая технологические установки для ионно-лучевой литографии, микро- и наноструктурирования, ионные микроскопы и приборы для локальной масс-спектрометрии вторичных ионов, а также системы контроля и нейтрализации потенциала космических аппаратов и электростатические ракетные двигатели (микротрастеры). Проанализированы перспективы дальнейшего развития ЭГД-эмиттеров и приборов на их основе.
Поступила: 14 декабря 2019 г. Доработана: 13 июля 2020 г. Одобрена в печать: 29 сентября 2020 г.
Образец цитирования:
П. А. Мажаров, В. Г. Дудников, А. Б. Толстогузов, “Электрогидродинамические источники ионных пучков”, УФН, 190:12 (2020), 1293–1333; Phys. Usp., 63:12 (2020), 1219–1255
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn6709 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v190/i12/p1293
|
|