|
Эта публикация цитируется в 49 научных статьях (всего в 49 статьях)
КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ
Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия
В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.
Поступила: 18 июля 2019 г. Одобрена в печать: 22 мая 2019 г.
Образец цитирования:
В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, “Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия”, УФН, 190:1 (2020), 92–106; Phys. Usp., 63:1 (2020), 83–95
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn6629 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v190/i1/p92
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 422 | PDF полного текста: | 39 | Список литературы: | 45 | Первая страница: | 23 |
|