Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2008, том 178, номер 7, страницы 727–737
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0178.200807c.0727 (Mi ufn619) 		 
Эта публикация цитируется в 65 научных статьях (всего в 65 статьях)

ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ

Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния

В. А. Гриценко

Институт физики полупроводников СО РАН
PDF полного текста (1566 kB) Список цитирования (65)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0178.200807c.0727
Аннотация: Аморфные пленки оксида $\mathrm{SiO_2}$ и нитрида $\mathrm{Si_3N_4}$ кремния являются двумя ключевыми диэлектриками в современных кремниевых приборах. В настоящее время кроме технологии получения стехиометрических пленок $\mathrm{SiO_2}$, $\mathrm{Si_3N_4}$ разрабатывается технология создания нестехиометрических нитридов и оксидов кремния $\mathrm{SiO}_{x}\mathrm{N}_y$, $\mathrm{SiN}_x$, $\mathrm{SiO}_x$. Изменение химического состава этих соединений позволяет в широком диапазоне управлять их физическими (оптическими и электрическими) свойствами. Разработка технологии синтеза таких пленок требует детального понимания их атомной структуры. В обзоре систематизированы и обобщены современные представления об атомном строении нестехиометрических нитридов и оксидов кремния.
Поступила: 17 марта 2008 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2008, Volume 51, Issue 7, Pages 699–708
DOI: https://doi.org/10.1070/PU2008v051n07ABEH006592
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 33.60.Fy, 61.43.-j, 61.66.Fn, 68.35.Dv, 71.55.Jv
Образец цитирования: В. А. Гриценко, “Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния”, УФН, 178:7 (2008), 727–737; Phys. Usp., 51:7 (2008), 699–708
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Gri08}
\by В.~А.~Гриценко
\paper Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния
\jour УФН
\yr 2008
\vol 178
\issue 7
\pages 727--737
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn619}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.0178.200807c.0727}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2008PhyU...51..699G}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2008
\vol 51
\issue 7
\pages 699--708
\crossref{https://doi.org/10.1070/PU2008v051n07ABEH006592}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000260580700003}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-55749101208}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn619
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v178/i7/p727
    • Эта публикация цитируется в следующих 65 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:658
    PDF полного текста:192
    Список литературы:38
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024