|
Эта публикация цитируется в 56 научных статьях (всего в 56 статьях)
ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ
Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера
Р. А. Хмельницкий Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
Аннотация:
Уникальные свойства алмаза стимулировали исследования и поиски его применений во многих областях, в том числе в оптике, оптоэлектронике, электронике, биологии и электрохимии. Методом парофазного химического осаждения можно выращивать поликристаллические алмазные пластины диаметром более 200 мм. Для большинства применений алмаза в современной технологии требуются монокристаллические алмазные подложки или плёнки больших размеров (25 мм и более), пригодные для фотолитографического процесса. До сих пор размер остаётся главной проблемой, поскольку в настоящее время доступны кристаллы алмаза размером не более 10 мм. В обзоре рассмотрены три перспективных способа изготовления монокристаллического алмаза большого размера: выращивание монокристалла большого объёма, осаждение гетероэпитаксиальных алмазных плёнок на монокристаллических подложках, изготовление составных алмазных подложек.
Поступила: 16 апреля 2014 г. Доработана: 18 июня 2014 г. Одобрена в печать: 24 июня 2014 г.
Образец цитирования:
Р. А. Хмельницкий, “Перспективы выращивания монокристаллического алмаза большого размера”, УФН, 185:2 (2015), 143–159; Phys. Usp., 58:2 (2015), 134–149
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn5007 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v185/i2/p143
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 443 | PDF полного текста: | 171 | Список литературы: | 47 |
|