|
Эта публикация цитируется в 30 научных статьях (всего в 30 статьях)
ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
Современные тенденции развития технологий выращивания графена методом химического осаждения паров на медных подложках
И. В. Антонова Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
Рассмотрены последние наиболее интересные достижения и тенденции развития технологий выращивания графена на медных подложках. Анализируются влияние качества подготовки подложки и других параметров процесса на свойства плёнок, полученных при разных давлениях и температурах на медной фольге и более тонких слоях меди. Обсуждаются способы получения крупных монокристаллических доменов графена и их свойства, а также технологии, не требующие переноса плёнки графена на диэлектрическую подложку. Ещё один обсуждаемый в статье важный подход — это возможность латерального роста графена от специально сформированных мультиграфеновых или углеродсодержащих зародышей и металлических катализаторов.
Поступила: 14 февраля 2013 г. Доработана: 2 марта 2013 г. Одобрена в печать: 27 февраля 2013 г.
Образец цитирования:
И. В. Антонова, “Современные тенденции развития технологий выращивания графена методом химического осаждения паров на медных подложках”, УФН, 183:10 (2013), 1115–1122; Phys. Usp., 56:10 (2013), 1013–1020
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn4636 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v183/i10/p1115
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 325 | PDF полного текста: | 154 | Список литературы: | 41 | Первая страница: | 1 |
|