Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2007, том 177, номер 5, страницы 473–510
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200705a.0473 (Mi ufn461) 		 
Эта публикация цитируется в 107 научных статьях (всего в 107 статьях)

ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ

Магнетронная плазма и нанотехнология

П. В. Каштановa, Б. М. Смирновa, Р. Хипплерb

a Институт высоких температур РАН
b Institute of Physics, University of Greifswald
PDF полного текста (7668 kB) Список цитирования (107)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
Аннотация: Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.
Поступила: 8 июля 2006 г.
Доработана: 13 ноября 2006 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2007, Volume 50, Issue 5, Pages 455–488
DOI: https://doi.org/10.1070/PU2007v050n05ABEH006138
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 36.40.-c, 52.80.Sm, 61.46.Bc
Образец цитирования: П. В. Каштанов, Б. М. Смирнов, Р. Хипплер, “Магнетронная плазма и нанотехнология”, УФН, 177:5 (2007), 473–510; Phys. Usp., 50:5 (2007), 455–488
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KasSmiHip07}
\by П.~В.~Каштанов, Б.~М.~Смирнов, Р.~Хипплер
\paper Магнетронная плазма и нанотехнология
\jour УФН
\yr 2007
\vol 177
\issue 5
\pages 473--510
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn461}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200705a.0473}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2007PhyU...50..455K}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2007
\vol 50
\issue 5
\pages 455--488
\crossref{https://doi.org/10.1070/PU2007v050n05ABEH006138}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000249374100001}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-34548594195}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn461
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v177/i5/p473
    • Эта публикация цитируется в следующих 107 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:2563
    PDF полного текста:244
    Список литературы:57
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024