Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2006, том 176, номер 9, страницы 913–930
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0176.200609a.0913 (Mi ufn364) 		 
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)

ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ

Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа

А. А. Шкляевab, М. Ичикаваa

a Quantum-Phase Electronics Center, Department of Applied Physics, The University of Tokyo and Japan Science and Technology Agency, CREST, Tokyo, Japan
b Институт физики полупроводников СО РАН
PDF полного текста (5878 kB) Список цитирования (10)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0176.200609a.0913
Аннотация: Рассмотрено состояние исследований по созданию наноструктур на поверхностях полупроводников с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа (СТМ). Анализируется процесс непрерывного переноса атомов при направленной поверхностной диффузии под действием электрического поля СТМ в условиях испарения поверхностных атомов полем. Исследуется влияние облучения внешним электронным пучком на взаимодействие образца и зонда. Облучение создает условия как для уменьшения барьера для прямых межатомных реакций, так и для изменения направления переноса атомов между зондом и образцом. Показаны возможности создания наноструктур, таких, как островки и линии германия и кремния, а также окон кремния на окисленной поверхности кремния.
Поступила: 22 февраля 2006 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2006, Volume 49, Issue 9, Pages 887–903
DOI: https://doi.org/10.1070/PU2006v049n09ABEH006070
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 68.37.Ef, 79.70.+q, 81.16.Ta
Образец цитирования: А. А. Шкляев, М. Ичикава, “Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа”, УФН, 176:9 (2006), 913–930; Phys. Usp., 49:9 (2006), 887–903
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShkIch06}
\by А.~А.~Шкляев, М.~Ичикава
\paper Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа
\jour УФН
\yr 2006
\vol 176
\issue 9
\pages 913--930
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn364}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.0176.200609a.0913}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2006PhyU...49..887S}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2006
\vol 49
\issue 9
\pages 887--903
\crossref{https://doi.org/10.1070/PU2006v049n09ABEH006070}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000243785700001}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-33846649562}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn364
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v176/i9/p913
    • Эта публикация цитируется в следующих 10 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025