|
Эта публикация цитируется в 30 научных статьях (всего в 30 статьях)
ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ
Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний
Е. Н. Зубарев Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
Аннотация:
Процессы реакционной диффузии в наноразмерных материалах во многом отличаются от аналогичных процессов в объёмных материалах. В обзоре представлены основные модели и экспериментальные данные по закономерностям диффузии и фазовым превращениям в наноразмерных многослойных системах в процессе их изготовления и последующего термического отжига. Методами высокоразрешающей электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифракции установлена кинетика роста аморфной силицидной фазы в многослойных периодических системах Sc/Si и Mo/Si. Предложена модель диффузии атомов кремния через аморфный силицид, который в процессе роста испытывает структурную релаксацию и кристаллизацию. Исследована анизотропия диффузии и роста силицидной фазы на соседних межфазных границах раздела, измерены параметры диффузии на самых ранних стадиях диффузионного отжига.
Поступила: 24 июня 2010 г. Одобрена в печать: 21 сентября 2010 г.
Образец цитирования:
Е. Н. Зубарев, “Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний”, УФН, 181:5 (2011), 491–520; Phys. Usp., 54:5 (2011), 473–498
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn2387 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v181/i5/p491
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 546 | PDF полного текста: | 126 | Список литературы: | 43 | Первая страница: | 1 |
|