Неравновесный $1/f^\gamma$-шум в проводящих пленках и контактах

Дан обзор результатов исследований неравновесного фликкер-шума (1/f ^γ-шума) в проводящих пленках различных материалов и тонкопленочных контактах. Представлены методы исследований неравновесных фликкерных флуктуаций, позволяющие выделить неравновесный фликкер-шум (НФШ) из полной мощности шума. Проведена систематизация опубликованных результатов по НФШ в пленках металлов и сплавов, в резисторах на основе пленок Ni/Cr и нитрида тантала Ta_xN_y и в контактах. Показано, что в проводящих пленках существуют различные виды НФШ. Наблюдаются стационарный и нестационарный НФШ, что определяется условиями испытаний, внешними воздействиями и микроструктурой пленки. Дано обоснование метода неразрушающего контроля качества тонкопленочных проводников по измерениям 1/f ^γ-шума. Для большинства пассивных компонентов интегральных микросхем (тонкопленочные проводники, резистивные слои, контакты) уровень НФШ является наиболее информативным параметром качества по сравнению с равновесным фликкер-шумом.