|
Эта публикация цитируется в 21 научных статьях (всего в 21 статьях)
ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ
Моноатомные ступени на поверхности кремния
А. В. Латышев, А. Л. Асеев Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
Приведен обзор результатов исследования моноатомных ступеней на поверхностях кремния с помощью in situ экспериментов в методе отражательной электронной микроскопии в сверхвысоком вакууме. Приведены данные об увеличении динамического линейного натяжения ступеней при сублимации, о процессах формирования эшелонов и антиэшелонов моноатомных ступеней, об эффектах электромиграции, об аномально высокой плотности адатомов на нереконструированной поверхности и начальных стадиях эпитаксиального роста.
Поступила: 31 декабря 1998 г.
Образец цитирования:
А. В. Латышев, А. Л. Асеев, “Моноатомные ступени на поверхности кремния”, УФН, 168:10 (1998), 1117–1127; Phys. Usp., 41:10 (1998), 1015–1023
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn1524 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v168/i10/p1117
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 258 | PDF полного текста: | 84 | Первая страница: | 1 |
|