|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии
Д. А. Золотовa, В. Е. Асадчиковa, А. В. Бузмаковa, В. В. Волковa, И. Г. Дьячковаa, П. В. Конаревa, В. А. Григорьевab, Э. В. Суворовc a Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ, г. Москва
c Институт физики твёрдого тела РАН, г. Черноголовка Московской обл.
Аннотация:
Представлены результаты обработки дифракционных изображений дислокационных полупетель в монокристалле кремния Si(111), полученных методом рентгеновской топо-томографии (РТТ) на Европейском источнике синхротронного излучения (ESRF). Предложен алгоритм предварительной обработки двумерных изображений методами автоматической фильтрации шумов, а также разработаны критерии достоверности решения, что позволило значительно улучшить качество трёхмерной реконструкции пространственного распределения исследуемых дефектов. Проведено сравнение экспериментальных изображений с численно смоделированными с использованием решения уравнений Такаги. Такой подход позволил не только определить геометрию дефектов, но и получить информацию о векторе Бюргерса.
Поступила: 28 марта 2022 г. Доработана: 25 апреля 2022 г. Одобрена в печать: 28 мая 2022 г.
Образец цитирования:
Д. А. Золотов, В. Е. Асадчиков, А. В. Бузмаков, В. В. Волков, И. Г. Дьячкова, П. В. Конарев, В. А. Григорьев, Э. В. Суворов, “Новые подходы к трёхмерной реконструкции дислокаций в кремнии по данным рентгеновской топо-томографии”, УФН, 193:9 (2023), 1001–1009; Phys. Usp., 66:9 (2023), 943–950
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn14958 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v193/i9/p1001
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 95 | PDF полного текста: | 2 | Список литературы: | 12 | Первая страница: | 5 |
|