В. С. Вавилов, А. Р. Челядинский, “Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения”, УФН, 165:3 (1995), 347–358; Phys. Usp., 38:3 (1995), 333

Успехи физических наук

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Скоро в журнале
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Успехи физических наук, 1995, том 165, номер 3, страницы 347–358
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0165.199503g.0347 (Mi ufn1070)

Эта публикация цитируется в 18 научных статьях (всего в 18 статьях)

ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ

Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения

В. С. Вавилов^a, А. Р. Челядинский^b

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
^b Белорусский государственный университет, физический факультет

PDF полного текста (2374 kB) Список цитирования (18)

DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0165.199503g.0347

Аннотация: Проведен анализ ионной имплантации с точки зрения эффективности ее как метода легирования кремния донорными и акцепторными примесями, синтеза соединений на основе кремния, создания геттерирующих слоев, оптоэлектронных структур. Рассмотрены закономерности введения, накопления и отжига радиационных дефектов в имплантированном кремнии. Определены роль и место дефектов межузельного типа в общем процессе радиационного дефектообразования. Проанализированы механизмы атермической миграции атомов кремния в решетке кремния.

Поступила: 1 февраля 1995 г.

Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 1995, Volume 38, Issue 3, Pages 333–343
DOI: https://doi.org/10.1070/PU1995v038n03ABEH000079

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 68.55.Ln, 78.50.Ge

Образец цитирования: В. С. Вавилов, А. Р. Челядинский, “Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения”, УФН, 165:3 (1995), 347–358; Phys. Usp., 38:3 (1995), 333–343

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/ufn1070

https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v165/i3/p347

Эта публикация цитируется в следующих 18 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	294
PDF полного текста:	114
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы