Параметры плазмы и кинетика образования и гибели активных частиц в разряде в хлоре

Проведено исследование параметров плазмы и кинетики образования и гибели активных частиц в условиях тлеющего разряда постоянного тока в хлоре ($P = 40$–$280$ Па, $i_P = 5$–$15$ мА). Установлено, что образование атомов в плазме хлора обеспечивается диссоциацией молекул $\mathrm{Cl}_2$ при электронном ударе, вклад диссоциативного прилипания не превышает $10\%$. Получены расчетные данные по массовому составу нейтральных и заряженных частиц плазмы. Показано, что предположение о первом кинетическом порядке гетерогенной гибели атомов обеспечивает удовлетворительное согласие экспериментальных и расчетных значений $E/N$, концентрации атомов хлора и плотности потока положительных ионов на поверхность разрядной трубки.