Квазистационарный высокочастотный емкостной тлеющий разряд в поперечном магнитном поле

Обсуждаются проблемы компьютерного моделирования двухмерной структуры высокочастотного емкостного (ВЧЕ) тлеющего разряда. Диффузионно-дрейфовая вычислительная модель ВЧЕ-разряда, горящего в квазистационарном режиме, использована для анализа поведения ВЧЕ в поперечном магнитном поле. Расчеты выполнены для двухмерного ВЧЕ тлеющего разряда при давлении $5$—$10$ Тор и ЭДС-источника питания $520$—$1000$ В с частотой $13.59$ МГц. Вектор магнитного поля с индукцией $B = 0.2$ T направлен поперек токового столба ВЧЕ-разряда. Высокочастотный тлеющий разряд представляет собой частично ионизованный газ с плотностью заряженных частиц $\sim 10^{11}$ см$^{–1}$, который не возмущает магнитное поле.