К вопросу определения теплофизических свойств тонкопленочных покрытий и изоляций

Рассмотрены теоретические и экспериментальные возможности измерения тепловых свойств тонкопленочных покрытий и изоляций на основе нестационарных методов исследования. Для покрытий микронных толщин предлагается способ вычисления теплоемкости по временной зависимости температуры контакта при действии кратковременного импульса теплового потока на систему покрытие плюс пленочный термоприемник. Использование электроимпульсной методики позволяет достаточно корректно определить коэффициент теплоусвоения материала покрытия или изоляции. Разработана на базе ГОС-З0М экспериментальная установка, позволяющая генерировать П-импульсы излучения длительностью от $10$ до $1600$ мкс с крутым фронтом нарастания. Приведены результаты измерения теплофизических свойств некоторых покрытий и изоляции из $\mathrm{SiO}_2$.