Об эффективности плазмохимического метода получения кремния из кварца в аргоно-водородном потоке

Cформулированы кинетическая модель неравновесных химических процессов в газовых смесях $\rm Si$, $\rm O$, $\rm H$ и $\rm Ar$ и модель расчета основных параметров плазменных установок для реализации плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца в аргоно-водородных газоплазменных потоках. Выявлены критерии и определены общие условия, при которых достигается максимальный выход кремния. Определены основные режимные и конструктивные параметры плазменных установок. Показано, что при потребляемой электрической мощности стационарного плазмотрона $100$ кВт расчетная производительность установки (по парообразному $\rm Si$) может составлять величину порядка $10^{–2}$ г/c.