|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Исследование плазмы
Об эффективности плазмохимического метода получения кремния из кварца в аргоно-водородном потоке
Ю. М. Гришин, Н. П. Козлов, А. С. Скрябин Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
Аннотация:
Cформулированы кинетическая модель неравновесных химических процессов в газовых смесях $\rm Si$, $\rm O$, $\rm H$ и $\rm Ar$ и модель расчета основных параметров плазменных установок для реализации плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца в аргоно-водородных газоплазменных потоках. Выявлены критерии и определены общие условия, при которых достигается максимальный выход кремния. Определены основные режимные и конструктивные параметры плазменных установок. Показано, что при потребляемой электрической мощности стационарного плазмотрона $100$ кВт расчетная производительность установки (по парообразному $\rm Si$) может составлять величину порядка $10^{–2}$ г/c.
Поступила в редакцию: 12.12.2014 Принята в печать: 10.03.2015
Образец цитирования:
Ю. М. Гришин, Н. П. Козлов, А. С. Скрябин, “Об эффективности плазмохимического метода получения кремния из кварца в аргоно-водородном потоке”, ТВТ, 54:5 (2016), 655–662; High Temperature, 54:5 (2016), 619–626
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/tvt7968 https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v54/i5/p655
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 256 | PDF полного текста: | 109 | Список литературы: | 37 | Первая страница: | 1 |
|