Влияние начального состава смеси метан–аргон на электрофизические параметры и состав плазмы тлеющего разряда постоянного тока

Проведено исследование стационарных параметров и состава плазмы тлеющего разряда постоянного тока $(p = 40$–$200$ Па, $i = 30$–$70$ мА$)$ в смесях $\mathrm{CH}_4$–$\mathrm{Ar}$ переменного состава методами зондовой диагностики и математического моделирования. Получены данные по влиянию начального состава плазмообразующей смеси на приведенную напряженность электрического поля, энергетическое распределение электронов, константы скоростей процессов при электронном ударе, стационарные концентрации и плотности потоков нейтральных и заряженных частиц.