Теплофизика высоких температур
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ТВТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Теплофизика высоких температур, 1983, том 21, выпуск 1, страницы 22–29 (Mi tvt5859)  
Исследование плазмы

Особенности спектра плазмы ВЧ-разряда при травлении алюминия

В. В. Гусев, В. М. Долгополов, Д. И. Словецкий, Е. Ф. Шелыхманов

г. Москва
PDF полного текста (549 kB)
Аннотация: Проведено спектроскопическое исследование процесса травления алюминия в ВЧ-газовом разряде тетрахлорметана. На основе разработанной спектральной методики изучения механизмов процессов показано, что наиболее вероятным механизмом образования активных частиц в разряде является диссоциативное прилипание электронов. Установлено, что за инициирование процесса травления ответственна ионная компонента плазмы, а за травление чистого алюминия отвечают радикалы хлора. Исследовано влияние добавок кислорода, азота и воды на процесс травления. Объясняется зависимость скорости травления алюминия от площади поверхности образцов.
Поступила в редакцию: 07.08.1981
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.382.002
Образец цитирования: В. В. Гусев, В. М. Долгополов, Д. И. Словецкий, Е. Ф. Шелыхманов, “Особенности спектра плазмы ВЧ-разряда при травлении алюминия”, ТВТ, 21:1 (1983), 22–29; High Temperature, 21:1 (1983), 19–25
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GusDolSlo83}
\by В.~В.~Гусев, В.~М.~Долгополов, Д.~И.~Словецкий, Е.~Ф.~Шелыхманов
\paper Особенности спектра плазмы ВЧ-разряда при травлении алюминия
\jour ТВТ
\yr 1983
\vol 21
\issue 1
\pages 22--29
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/tvt5859}
\transl
\jour High Temperature
\yr 1983
\vol 21
\issue 1
\pages 19--25
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=A1983RK54800005}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/tvt5859
  • https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v21/i1/p22
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Теплофизика высоких температур Теплофизика высоких температур
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:111
    PDF полного текста:68
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024