Функции распределения электронов по энергиям в плазме положительного столба тлеющего разряда в ксеноне, фторе и их смеси

На основе анализа второй производной зондового тока и из кинетического уравнения Больцмана с помощью расчетов на ЭВМ ЕС-1022 методом Шермана исследован вид функции распределения электронов по энергиям, рассчитаны средняя энергия, концентрация и скорость дрейфа электронов, оценена роль различных неупругих процессов в балансе энергии электронов. Показано, что средняя энергия электронов в чистом фторе ($\sim8$ эВ) существенно выше, чем в ксеноне ($\sim3{,}5$ эВ). По мере увеличения доли фтора в смеси функция распределения обогащается высокоэнергетичными электронами и согласуется в области энергий $>6$ эВ с распределением Максвелла. Не менее половины подводимой к электронам энергии $sEW/N$ во фторе и смеси $\mathrm{Xe}$+$\mathrm{F}_2$ расходуется в процессах диссоциации при возбуждении состояния $^3\Pi_u$, ионизации $\mathrm{F}_2$, возбуждении излучательных уровней $\mathrm{Xe}$ и $\mathrm{F}_2$ и диссоциативного прилипания электронов к молекулам фтора.