Спектроскопическое исследование кинетики образования атомов фтора в тлеющем разряде в тетрафторметане

Проведено экспериментальное исследование кинетики образования атомов фтора в тлеющем разряде ВЧ и постоянного тока в тетрафторметане с помощью спектроскопических методов. Получены кинетические кривые накопления атомов фтора в ВЧ-разряде в тетрафторметане, которые позволили рассчитать скорости образования атомов фтора, коэффициенты скорости их гибели и стационарные концентрации атомов фтора. В разряде постоянного тока получены зависимости стационарных концентраций атомов фтора от силы тока (т. е. концентрации электронов) и давления газа. Обработка этих данных дала возможность рассчитать коэффициенты скорости образования и гибели атомов фтора. Показано, что основной вклад в образование атомов фтора в разрядах дает диссоциация молекул тетрафторметана однократным электронным ударом с образованием нейтральных фрагментов.