Функция распределения электронов по энергиям и взаимодействие электронов с молекулами моносилана в тлеющем разряде

Приведены результаты расчета ФРЭЭ в разряде в моносилане на основе численного решения уравнения Больцмана. С использованием полученных ФРЭЭ проведены расчеты уровневых коэффициентов скоростей неупругих процессов в зависимости от параметра $E/N$ и определены относительные доли энергии электронов, затрачиваемых на возбуждение колебательных уровней, диссоциацию и ионизацию молекул моносилана.