Электрофизические параметры и состав плазмы в смесях $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{N}_2$

Методом математического моделирования получены данные по энергетическим параметрам электронного газа, скоростям образования и концентрациям заряженных и нейтральных частиц в плазме тлеющего разряда постоянного тока ($p=40$–$200$ Па, $i_p=15$–$35$ мА) в зависимости от состава смеси $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{N}_2$. Установлено, что разбавление $\mathrm{HCl}$ азотом сопровождается ростом концентрации электронов в плазме, но не приводит к изменению интенсивности ионной бомбардировки поверхности, контактирующей с плазмой. Показано, что увеличение степени диссоциации $\mathrm{HCl}$ в разбавленных смесях связано с ростом эффективности диссоциации электронным ударом.