|
Теплофизика высоких температур, 1991, том 29, выпуск 5, страницы 899–902
(Mi tvt4457)
|
|
|
|
Теплофизические свойства веществ
Электрофизические свойства тонких пленок, полученных при реактивном испарении нитрида алюминия
Л. А. Жиляков, А. В. Костановский Институт высоких температур Академии наук СССР
Аннотация:
Проведены исследования электрофизических свойств тонких пленок нитрида алюминия, полученных путем испарения его конденсированной фазы в атмосфере азота. Реализован низкотемпературный вариант метода, позволяющий осуществлять формирование сплошных тонких пленок нитрида алюминия с заданными электрофизическими свойствами.
Поступила в редакцию: 14.03.1991
Образец цитирования:
Л. А. Жиляков, А. В. Костановский, “Электрофизические свойства тонких пленок, полученных при реактивном испарении нитрида алюминия”, ТВТ, 29:5 (1991), 899–902; High Temperature, 29:5 (1991), 708–711
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/tvt4457 https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v29/i5/p899
|
|