ФРЭЭ и кинетические характеристики низкотемпературной плазмы во фторе

Методом итераций численно на ЭВМ ЕС-1022 решено кинетическое уравнение Больцмана для заряженных частиц. Расчеты выполнены с учетом экспериментальных значений отношения напряженности электрического поля к концентрации молекул $E/N$, неустойчивости, поперечной разрядному току, обусловленной диссоциативным прилипанием электронов к молекулам фтора, и процессов их "гибели – рождения". Показано, что колебательное возбуждение молекул фтора оказывает незначительное влияние на вид ФРЭЭ лишь при энергиях $0$–$2$ эВ; более существенное изменение вида функции распределения связано с поперечной нелокальностью, выбором сечений процессов, особенно транспортного, с рассмотрением процессов "гибели –рождения". Анализ связи констант взаимодействия электронов с молекулярным фтором, скорости дрейфа $W_d$ и коэффициента диффузии $D_e$, а также коэффициента ионизации Таунсенда $\alpha/N$ с $E/N$ позволил установить механизм диссоциации через возбуждение $F_2^3\Pi_u$-состояния и область существования самостоятельного разряда, модуль $\vert\alpha/N\vert$ претерпевает разрыв при $E/N\le1{,}3\cdot10^{-15}{\text B}\cdot {\text см}^2$.