Теплофизика высоких температур
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ТВТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Теплофизика высоких температур, 1992, том 30, выпуск 6, страницы 1181–1188 (Mi tvt3701)  
Методы экспериментальных исследований и измерений

Оптимизация параметров активационного отжига полупроводниковых пластин

Ю. М. Мацевитый, Р. Ж. Ержанов, В. М. Тимченко, В. П. Шерышев

Харьковский институт проблем машиностроения
PDF полного текста (344 kB)
Аннотация: На основании разработанной методики идентификации теплотехнологических параметров построена оптимальная стратегия управления режимом активационного отжига полупроводниковых пластин с учетом ограничений на максимальные градиент и перепад температур по толщине пластины. Исследована динамика распределения примеси в активированном слое пластины при различных режимах активационного отжига.
Поступила в редакцию: 11.03.1992
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 536.24.02
Образец цитирования: Ю. М. Мацевитый, Р. Ж. Ержанов, В. М. Тимченко, В. П. Шерышев, “Оптимизация параметров активационного отжига полупроводниковых пластин”, ТВТ, 30:6 (1992), 1181–1188; High Temperature, 30:6 (1992), 980–985
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MatErzTim92}
\by Ю.~М.~Мацевитый, Р.~Ж.~Ержанов, В.~М.~Тимченко, В.~П.~Шерышев
\paper Оптимизация параметров активационного отжига полупроводниковых пластин
\jour ТВТ
\yr 1992
\vol 30
\issue 6
\pages 1181--1188
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/tvt3701}
\transl
\jour High Temperature
\yr 1992
\vol 30
\issue 6
\pages 980--985
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=A1992LR83100022}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/tvt3701
  • https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v30/i6/p1181
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Теплофизика высоких температур Теплофизика высоких температур
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:101
    PDF полного текста:52
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024