|
Теплофизика высоких температур, 2012, том 50, выпуск 4, страницы 491–495
(Mi tvt359)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 16 научных статьях (всего в 16 статьях)
Исследование плазмы
Экспериментальное исследование плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца
Ю. М. Гришин, Н. П. Козлов, А. С. Скрябин Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Аннотация:
Представлены результаты экспериментального исследования неравновесного плазмохимического метода получения поликристаллического кремния из кварца. Показано, что с использованием созданной электродуговой установки может быть получен поликристаллический кремний с выходом до 60% в виде сфероподобных частиц со средним размером 100–200 мкм чистотой 99.8–99.9%.
Поступила в редакцию: 22.06.2011
Образец цитирования:
Ю. М. Гришин, Н. П. Козлов, А. С. Скрябин, “Экспериментальное исследование плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца”, ТВТ, 50:4 (2012), 491–495; High Temperature, 50:4 (2012), 459–463
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/tvt359 https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v50/i4/p491
|
|