Неупругие столкновения медленных электронов с продуктами испарения $\mathrm{SiO}_2$

Методом протяженных пересекающихся пучков с применением регистрации оптического сигнала из области пересечения исследованы неупругие столкновения медленных электронов с продуктами испарения двуокиси кремния. Испарение осуществлялось с открытой поверхности в результате электронно-лучевого нагрева. Обнаружены спектральные полосы, принадлежащие $\mathrm{SiO}$, $\mathrm{SiO}^+$, и спектральные линии атома кремния. Для всех спектральных объектов измерены эффективные сечения возбуждения электронным ударом и энергетические зависимости сечений в области энергий электронов $0$–$100$ эВ.