Теплофизика высоких температур
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ТВТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Теплофизика высоких температур, 1992, том 30, выпуск 3, страницы 601–608 (Mi tvt3472)  
Методы экспериментальных исследований и измерений

Моделирование тепломассопереноса при активационном отжиге арсенидталлие- вых полупроводниковых пластин

Ю. М. Мацевитый, Н. В. Балашова, А. В. Мултановский, П. В. Панасенко, В. М. Тимченко, В. П. Шерышев

Институт проблем машиностроения Украины
PDF полного текста (341 kB)
Аннотация: На основе концепции сосредоточенной емкости разработана математическая модель процессов тепломассопереноса в системе "пластина – покрытие" при формировании областей $n$-типа проводимости на полуизолирующем арсениде галлия. Исследована динамика полей температуры и концентрации имплантированной примеси в процессе активационного отжига арсенид-галлиевых пластин при движении пластины с постоянной скоростью относительно источника излучения и в случае ее фиксированного положения.
Поступила в редакцию: 10.07.1991
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 536.24.02
Образец цитирования: Ю. М. Мацевитый, Н. В. Балашова, А. В. Мултановский, П. В. Панасенко, В. М. Тимченко, В. П. Шерышев, “Моделирование тепломассопереноса при активационном отжиге арсенидталлие- вых полупроводниковых пластин”, ТВТ, 30:3 (1992), 601–608; High Temperature, 30:3 (1992), 488–494
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MatBalMul92}
\by Ю.~М.~Мацевитый, Н.~В.~Балашова, А.~В.~Мултановский, П.~В.~Панасенко, В.~М.~Тимченко, В.~П.~Шерышев
\paper Моделирование тепломассопереноса при активационном отжиге арсенидталлие- вых полупроводниковых пластин
\jour ТВТ
\yr 1992
\vol 30
\issue 3
\pages 601--608
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/tvt3472}
\transl
\jour High Temperature
\yr 1992
\vol 30
\issue 3
\pages 488--494
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=A1992LC55900027}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/tvt3472
  • https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v30/i3/p601
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Теплофизика высоких температур Теплофизика высоких температур
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:143
    PDF полного текста:73
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024