Измерение температуры кремниевой пластины в плазмохимическом реакторе методом лазерной интерферометрии

Проведено экспериментальное определение температурной зависимости показателя преломления монокристаллического кремния в диапазоне $20$–$350^{\circ}\text{C}$. Методом интерферометрии зарегистрирована кинетика нагрева и остывания пластины в кислородной плазме ВЧ-разряда. Температурная чувствительность метода может достигать $200\%$ К$^{-1}$ мм$^{-1}$, пороговая чувствительность (изменение температуры, которое можно обнаружить) $\simeq 0,01^{\circ}\text{C}$.