Параметры электронной компоненты метансодержащей водородной СВЧ-плазмы в резонаторе

Представлены результаты исследования плазмы резонаторного СВЧ-разряда в смеси $\mathrm{H}_2+2\%\mathrm{CH}_4+2\%\mathrm{Ar}$ методом двойных электрических зондов. Давление в разрядной трубке $0.7$–$4$ Тор, энерговклад в плазму $5$–$55$ Вт (объем плазмы $\sim10$ см$^3$). Показано, что ионный ток насыщения линейно зависит от поглощенной плазмой мощности и в исследованном диапазоне параметров удельный энерговклад в расчете на один электрон не зависит от поглощенной мощности. Температура электронов не зависит от энерговклада и уменьшается при увеличении давления. Рассмотрены вопросы, связанные с ионным составом плазмы и с изменением объема плазмы при изменении энерговклада.