|
Теплофизика высоких температур, 1995, том 33, выпуск 1, страницы 33–39
(Mi tvt2867)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Теплофизические свойства веществ
Синтез бинарных соединений на твердой поверхности путем фотоактивации адатомов компонентов на примере $\mathrm{AlN}$
Л. А. Жиляков, А. В. Костановский, А. В. Кириллин Институт высоких температур РАН, г. Москва
Аннотация:
На основе анализа процесса образования тонких пленок нитрида алюминия при реактивном испарении его конденсированной фазы в атмосфере азота рассмотрен и предложен механизм образования бинарных соединений на твердой поверхности. Показана роль фотоактивации адатомов компонентов (адатомов алюминия при синтезе пленок нитрида алюминия). Определены требования к энергетическим параметрам активирующего излучения для протекания реакции синтеза.
Поступила в редакцию: 27.05.1994
Образец цитирования:
Л. А. Жиляков, А. В. Костановский, А. В. Кириллин, “Синтез бинарных соединений на твердой поверхности путем фотоактивации адатомов компонентов на примере $\mathrm{AlN}$”, ТВТ, 33:1 (1995), 33–39; High Temperature, 33:1 (1995), 30–35
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/tvt2867 https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v33/i1/p33
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 146 | PDF полного текста: | 103 |
|