|
Теплофизика высоких температур, 1998, том 36, выпуск 2, страницы 279–284
(Mi tvt2860)
|
|
|
|
Тепломассообмен и физическая газодинамика
Особенности газодинамических и диффузионных процессов в реакторах для нанесения тонких пленок
Г. Г. Гладуш, Л. Г. Куркина, Н. Б. Родионов Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований
Аннотация:
Проведен численный анализ закономерностей течения и массопереноса в химических реакторах, предназначенных для нанесения тонких пленок с помощью плазменных струй. Исследуется течение невязкого газа с диффузией малой примеси в реакторе с возвратными струями. Показано, что характер течения существенно зависит от геометрических размеров установки, в частности от соотношения ширины камеры и поперечного размера входной струи. Изучены особенности массопереноса в широких и узких струях, обусловленные диффузией и вихревым движением газа.
Поступила в редакцию: 07.08.1996
Образец цитирования:
Г. Г. Гладуш, Л. Г. Куркина, Н. Б. Родионов, “Особенности газодинамических и диффузионных процессов в реакторах для нанесения тонких пленок”, ТВТ, 36:2 (1998), 279–284; High Temperature, 36:2 (1998), 263–268
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/tvt2860 https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v36/i2/p279
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 118 | PDF полного текста: | 63 |
|