Моделирование процессов образования и роста кластеров при конденсации атомарного пара

Представлена модель образования и роста кластеров в пересыщенном паре кластеризуемого материала, основанная на численном анализе эволюции функции распределения кластеров по размерам. Проведены расчеты по представленной модели при параметрах кластерной плазмы, характерной для магнетронного метода генерации кластеров, произведено сравнение результатов, полученных в численном эксперименте, с оценками других авторов. Представлены результаты численного эксперимента с учетом коалесценции, показано, что они находятся в согласии с результатами расчетов по приближенным аналитическим моделям в области применимости последних.