Исследование электрофизических и теплофизических характеристик низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа низкого давления

Изучены электрофизические и теплофизические характеристики низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа в аргоне в широком диапазоне параметров разряда: плотностей тока разряда $0.1$–$0.8$ A/см$^2$, давлений аргона $15$–$6000$ Па. Разработана самосогласованная радиальная модель плазмы низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа низкого давления в аргоне, основанная на одновременном решении уравнений баланса плотности электронов и метастабильных атомов аргона, уравнений баланса энергии электронов и температуры газа. Выполнен расчет зависимости напряженности электрического поля от давления аргона и тока разряда. Показано, что результаты расчетов хорошо совпадают с результатами экспериментальных измерений и описывают их основные особенности: падающую вольт-амперную характеристику разряда и наличие локального минимума в зависимости напряженности электрического поля от давления. Получены радиальные распределения параметров плазмы низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа (плотности электронов, температуры газа, температуры электронов). Показано, что учет прогрева газа приводит к существенному изменению параметров плазмы индуктивно-связанного разряда.